12英寸PECVD设备

天璇 Merak是Afilm自主研发的先进传输平台，具有占地面积小、产能高的优势，可搭载CFP a-Carbon, PE TEOS, PE SiH4 , DARC, NF DARC, Nitride, a-Si, HDR TEOS, LDF II等多种工艺腔体；为Logic，Memory，AP（HBM, CPO…），CIS，Wafer Maker，Specialty(Power, BCD, uOLED…) 等客户提供多样且先进的制程解决方案。