紫外光固化

UV 紫外固化设备是介质薄膜沉积工艺的配套固化解决方案，设备通过精准紫外光照实现交联固化，在维持介电常数的同时，显著提升介质薄膜的机械强度与稳定性。实现「沉积—固化」一体协同，固化效果均匀可控，助力提升产品良率与产能，打破高端固化装备进口依赖，服务先进制程介质互连工艺。